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洁净室测试

wenfeng丨1年前行业新闻49丨

  对洁净室进行测试对于实现无污染研究和制造以及高效运营和节省资金至关重要。半导体、平板显示器和存储器驱动器的制造商有极高的要求,生物技术和制药公司、医疗设备制造商、医疗保健设施以及其他生产、储存和测试其产品的组织都受到法律的监管。洁净室处理的敏感技术需要谨慎警惕;例如,一粒灰尘可能会破坏半导体;s的微观电子元件。为保持受控环境,洁净室采用过滤空气加压,并按照ISO、IEST和cGMP标准进行调节,每年使用以下方法和设备进行测试。
  空气中颗粒物的测量对于洁净室环境至关重要。粒子计数器是理想的工具;这些高度敏感的设备可以指示存在多少特定尺寸的颗粒。大多数计数器可以调整到允许的粒度阈值。确保洁净室始终符合标准,需要安装始终运行的连续监测颗粒计数器。这种做法对于保持受控环境和保护产品或设备免受污染至关重要。ISO 14644-3中定义了如何进行颗粒计数的过程。
  便携式颗粒计数器可用于连续监测,但它们和手持式颗粒计数器通常用于连续监测计数器的认证和确认以及定位颗粒源。包括颗粒测量系统、Fluke和Met One在内的多家制造商都为洁净室颗粒计数器提供顶级型号,如:
  颗粒测量系统Lasair III 110
  贝克曼库尔特Met One 3411
  福禄克985
  观看以下简短视频,了解Fluke 985粒子计数器的概述:
  温度和湿度测试评估洁净室的环境温度和空气湿度,这可能会影响材料上的腐蚀、硬化、膨胀或微生物的生长。因此,温度和湿度的精确性对洁净室至关重要。一些粒子计数器在其系统中包含湿度测量,但单独使用温度和湿度计也可以实现这一目的。温度和湿度计可测量这两种质量,并可选择绘制和分析随时间变化的水平。ISO 14644-3要求洁净室通风系统将严格的温度和湿度保持在洁净室所需的极限值内;s应用程序。
  根据您首选的制造商,有多种温度和湿度计可以在洁净室中进行测试。我们建议使用带有速度探头的Fluke 975V空气流量计,因为它可以同时进行温度和湿度测试以及空气流量和速度测试。了解更多有关温度和湿度计操作的信息,并考虑以下型号:
  带速度探头的Fluke 975V空气流量计
  Beckman Coulter Met 1 3411空气粒子计数器
  正确的气流和进出洁净室的空气速度对于保持准确的空气模式是必要的。故障通风系统会严重影响受控环境,因此必须进行测试以验证风量、速度和压力的变化。像Fluke 975V这样的产品是专门为执行这些测试而设计的。除了适当的气流外,房间的加压监测还可确定洁净室的压差是否符合设计要求。洁净室标准决定了洁净室的等级,适当的加压有助于保持其状态。
  执行HEPA过滤器完整性测试,以确定高效微粒捕集器(HEPA)过滤器中是否存在泄漏,该过滤器可去除污染物并确定洁净室中存在的特定水平的微粒。HEPA过滤器测试是用光度计进行的,使用户可以扫描针孔泄漏,从而传播污染物颗粒。光度计测量未知光源与标准光源的光强度。ISO 14644-3和CGMP均要求进行HEPA过滤器泄漏测试。
  空气平衡-调节空气处理系统中的气流,以达到设计规范、室内空气交换率和压力级联
  可行环境监测(EM)-包括空气和地表微生物测试
  灯光测试–确保工人在光线充足的环境中感到舒适
  声音测试–在制造洁净室环境中保护员工免受极端噪音的影响
  压缩气体测试-确保压缩气体源满足受控环境对污染物和微生物的要求
  IEST和/或ISO规定的其他洁净室试验
  ISO 1644-3标准
  美联储标准209E(FS209)
  当前良好生产规范(cGMP)
  环境科学技术研究所(IEST)
  中国国家石油天然气公司
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发布者:歪瑞谷的

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