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半导体行业洁净室尘埃粒子浓度等级划分原则

wenfeng丨11个月前行业新闻24丨

  无尘车间也叫洁净厂房、洁净室(Clean Room)、无尘室,是指将一定空间范围内空气中的微粒子、有害空气、细jun等污染物排除,并将室内的温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音震动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计的房间。即不论外在空气条件如何变化,其室内均能具有维持原先所设定要求洁净度、温湿度及压力等级能特性。洁净室的发展与现代工业、高技术密切联系在一起。由于精密机械工业(如陀螺仪、微型轴承等加工)、半导体工业(如大规模集成电路生产)等对环境的要求,促进了洁净室技术的发展。国内曾统计过,在无洁净级别的要求的环境下生产MOS电路管芯的合格率仅10%~15%,64为储存器仅2%。目前在精密机械、半导体、宇航、原子能等工业中应用洁净室已相当普遍。经济和科技发达的国家和地区都有自己的空气洁净标准和规范标准,都规定了有关的洁净度等级,我国于1984年颁布《洁净厂房设计规范》(GBJ73-84),1996年该规......阅读全文


发布者:爱的渴望不可及

半导体行业洁净室尘埃粒子浓度等级划分原则

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