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洁净室整体解决方案

wenfeng丨1年前行业新闻71丨

  洁净室洁净空气解决方案
  主要应用领域
  洁净空气,在精密的生产制造过程中不可或缺;伴随微电子制造技术迅速发展,12英寸硅片的生产线进入技术成熟期,芯片线宽已经
  达到纳米级,因此制造企业对生产环境的洁净度要求也越来越高,尤其是对洁净室内局部微环境的洁净度和分子级空气污染物(AMC)
  控制提出了更加严苛的标准。
  我们为微电子洁净室及洁净室内局部区域提供微环境超洁净解决方案,涵盖初中高效过滤器、自带风机过滤机组(FFU)、超薄型设
  备端自带风机过滤机组(EFU)、以及可选的化学过滤器段,有效控制洁净度和AMC浓度。我们凭借多年积累的专业经验,助力客户
  缔造卓越的生产制造环境。
  微电子洁净室洁净空气解决方案
  微电子洁净室洁净空气解决方案
  ① 初效过滤器 ② 中效过滤器 ③ 高效过滤器 ④ 高效送风口 ⑤ FFU ⑥ EFU ⑦ 化学过滤器
  RadiFan AC FFU
  自带风机过滤机组
  RadiFan AC FFU是一种适用于乱流及层流洁净室的自带风机过滤机组。它具有高度灵活性,适用于各种天花龙骨和吊顶系统中。根据设计要求的不同,它可方便地升级和集成到任何一种龙骨结构中,以达到不同洁净度的洁净要求。
  多元化的设计
  多种箱体材质可选:镀铝锌钢板、不锈钢板、铝板;
  多种尺寸可选,可提供非标尺寸。
  控制系统
  RadiFan AC FFU可选配手动五档调速控制器,也可选配最新EsiDrive II电脑端智能群控控制器,实现灵活操控。
  产品形式
  超薄设计、下装式设计、防爆设计。
  产品结构图
  特殊结构设计
  专业设计的箱体外壳,结构稳定强度高,避免泄漏,消除大量FFU同时运转时的共振。采用不锈钢材质的箱体,可使用消毒剂,非常适用于消毒设备。可选用镀铝锌钢板或铝箱体。可外加初效过滤器。
  最大风量下可达更高总静压
  采用高压一体化风机并采用低阻Radicel II过滤器,在机外静压50-150PA的条件下,仍可保证额定流量的输出。
  功能多样的选配件
  进风口初效过滤器、出风面散流板、压差计、压力在线监控、Particle在线监控、DOP测试孔、进风口接管、指示灯、风速、温湿度在线监控、遥控器控制、欧标接插头等多种选配件。
  性能曲线
  规格参数
  RadiFan EC FFU
  智能控制自带风机过滤机组
  RadiFan EC FFU智能控制自带风机过滤机组己广泛应用于半导体、电子、食品、平板显示、生物制药等对空气中的污染物有极其严格要求的地方,安装于乱流及层流洁净室内,可达到洁净等级100、10和1级的高要求。
  低能耗--节能约30%~40%
  采用的无刷直流电机比AC交流电机更为节能。相比常规搭载玻纤过滤器的AC FFU,EC FFU能耗可降低30%~40%。
  低噪音--噪音可降低约5dBA
  采用高效率、长寿命的EBM直流马达,具有低震动、低噪音、无需保养的特点,相比传统的AC FFU,噪音可降低约5dBA。
  控制系统
  采用自主研发的全新eLisaPLUS控制系统,可实现超大规模网络化集中控制的同时,还可对单台FFU进行精准化数据读取与控制。系统保留原有多层分级管理、报警提示、日程管理等功能外,重点加入了智能分区管理、智能显示控制以及智能读取等更为人性化的操控模块,以提高后期维护使用的便捷性。
  产品形式
  超薄设计、下装式设计
  产品结构图
  总静压值高
  使用EBM高压一体化风机,使得我们的FFU在额定气流下可提供50~150Pa的机外静压,选用低阻力的PTFE过滤器可提高机外静压。可外加初效过滤器。
  极低的化学气体散播性
  为满足特别工业的需求,所有组成材料均采用低化学气体散播材料,并经过严格检测。滤网也可采用化学气体散播性更低的 PTFE过滤器。
  易于安装
  整体设计灵活,根据设计的规格,可与任何形式的吊顶骨架配合而无需夹紧装置。当过滤器采用刀边型框架时,该机组也可用于液槽密封式吊顶骨架。
  功能多样的选配件
  进风口初效过滤器、出风面散流板、压差计、压力在线监控、Particle在线监控、DOP测试孔、进风口接管、指示灯、风速、温湿度在线监控、遥控器控制、欧标接插头等多种选配件。
  性能曲线
  RadiFan EFU
  超薄型设备端自带风机过滤机组
  EFU即 Equipment Fan filter Unit,是一种超薄型设备端自带风机过滤机组,广泛应用在洁净室中,以提高局部微环境的洁净度。可严格控制空气中的悬浮颗粒物、化学及分子级污染物。
  超薄箱体设计
  ━ 适应空间更广,箱体最低可至110mm
  ━ 重量轻薄,安装维护方便;
  ━ 多种材质可供客户选择(SPCC、SUS、AL、ZN-AL)
  低噪音,低震动设计
  ━ 高效、低能耗直流无刷电机(国产、EBM应对客户不同要求)
  ━ 高效、低噪叶轮,动平衡等级G2.5
  ━ 严格的检测流程,保证每台出货产品100%合格
  多样性设计
  ━ 定制性:根据客户需求制作外形尺寸
  ━ 灵活性:拆装维护均可从STOCKER及EQ内部完成
  ━ 稳定性:运转100000H 电机轴承无异常
  ━ 智能性:随意兼容客户系统。全天实时监控
  ━ 防呆性:配备特有电源、通讯端子接口,避免接线异常
  专用控制器
  ━ 单机控制:无通讯时亦可操作
  ━ 控制显示:控制器可显示基本信息(转速、故障、地址)
  ━ 系统连接:可无缝接入客户控制系统,实现对EFU的实时
  “监控”。
  ━ 历史查询:设置EFU状态LIST,可随意查询任意时间段内的
  操作及状态记录。
  ━ 可做成行业标准Modbus RTU
  极低挥发物原材料
  ━ 精选极低挥发性原材料,满足洁净度要求极高的EFU安装工艺段
  ━ 如对气态分子污染物控制有要求,可选配PTFE过滤器或者化学过滤器
  气流模拟
  产品结构图
  选型示意图
  规格参数
  AC控制系统
  智能控制系统 EsiDrive IIEsiDrive II
  通常有FFU、驱动器、中继器、转换器、电脑以及控制软件组成,每个转换器可以控制1~1575台FFU,每台驱动器可以连接1~5台FFU。
  EC控制系统
  手动控制
  ━ 功能强大,可实现对单台FFU和群组FFU的启动、停止、转速设置以及FFU的故障检测,并且可实现对网关的控制。
  ━ 全中文菜单,操作简单,内置高性能锂电池,可连续工作20小时,并支持USB充电。
  平板电脑群控
  直流平板电脑群控系统适用于多房间单独控制或者小规模的洁净车间现场控制。
  ━ 控制系统由平板电脑、信号收集器、信号放大器(少于31台FFU可不用放大器)、FFU组成. 控制系统响应时间小于1S。
  ━ 每个放大器最多可以连接31台FFU。
  ━ 此系统最多可以连接255个放大器,最多可以控制7905台FFU。
  智能控制系统elisaPlus
  elisaPlus是一个多层级的控制系统,它位于一个基于开放系统标准的公共基础设施网络上,允许无缝集成,并具有互操作性。是专门
  为大型洁净厂房内超大规模风机过滤器机组实现远程集中控制而研发的控制系统,拥有完善的权限控制,配合其它众多功能,非常适合大中型企业使用。
  RadiFan EC FFU/EFU之间通过超级网关实现远程控制终端(PC)的链接控制。
  ━ 每个超级网关可以控制8组FFU/EFU共计248台,一台电脑通过交换机可链接254个超级网关,最多可以控制62992台FFU/EFU。
  ━ 服务器每隔8秒会收到所有超级网关的数据,整个控制系统的响应速度较其他普通控制系统快数十倍。


发布者:儧罡龒

洁净室整体解决方案

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